品牌 | PONA |
---|---|
型号 | BNLS-300-2 |
一,用途
本甩干机主要用于对太阳能硅片、半导体硅片、LED晶圆片等产品进行高洁净度全自动快速清洗、离心脱水、烘干。
二, 主要性能指标和参数
工作腔数量:2套
硅片规格:2吋、4吋
旋转速度r/min:无级调速**高转速2800rpm
氮气压力Mpa:0.2~0.3
氮气耗量L/min:120(单腔)
去离子水压力Mpa:0.4~0.6
去离子水耗量L/min:5~10(单腔)
电阻率监控:可选择
控制系统:PLC可编程控制
显示:液晶触摸屏
总电源:220V±10%,4.5KW