R向蓝宝石衬底
材料：99.996%蓝宝石，单晶
晶向：R向[1-102]+/-0.1度
直径：50.8+/-0.1mm
厚度：0.43+/-0.01mm
主参考边：+/-0.2度
主参考边尺寸：16.0+/-1.0mm
正面：EPI抛光， Ra<0.2nm
背面：细磨，Ra=0.8-1.2um
TTV:
LTV:
TIR:
BOW:-10-0um
Warp:
包装：100级洁净室抽真空双层包装，每盒25片装或单片装。
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光电器件 半导体材料
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更新日期2021-12-27 19:38
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